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净化工程—电子类

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关键词: 电子类净化工程   净化        

摘要

  净化工程电子类洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备 排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。
  电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除 静电,并使人也感觉舒适。电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出

产品介绍


洁净室室内设计参数:

    洁净室洁净度:100级

    洁净室温度:25℃;湿度50%

    气流组织:上送下回

    换气次数:50次/h

    室内正压值:5mmH2O

电子类图-3_副本.jpg

净化系统概述:

    风系统:新风经洗净,初过滤,中过滤与回风混合后进人空凋器,空凋器按洁净车间的热、湿负荷需求处理约20%的循环风量,空调器出风与经循环风机箱的回风再次混合至出风温度,回风经洁净室专用回风地板,通过1.5米深的回风层,回至空调器/循环风机箱。

    水系统:由新设的二次泵将二次冷水在空调器、冷水槽之间循环。

    加湿系统:采用蒸汽作为加湿源。

洁净系统自动控制:

    冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化,为系统提供适合的冷热量

    过滤系统(包括高效、中效、初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置

    蒸汽加湿器设置控制系统,根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量

    系统连锁控制:基本控制是当风机停止时,所有的水阀、风阀随即关闭

调试及试运行检测:

    洁净厂房安装工程完成后进行了认真的清扫,经过二天的试运行,开始了洁净度测试,将洁净车间均匀布置了20余个测试点,测试结果证实符合设计要求。


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